• 功能

• 低壓1MPa以下
  焊接規(guī)范金屬墊片
  配件集成規(guī)格

• 調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)

• 針型

• 兼容氣體

• 7類特殊高壓氣體腐蝕性氣體，有毒氣體
  
  除外

• 標準流量

• ~60噸/分鐘

  
  

yutaka半導(dǎo)體制造用壓力控制設(shè)備L12系列

• 特點

  規(guī)范

  入口壓力	最大0.99MPa
  調(diào)節(jié)壓力（L12?L12H）	最大0.7MPa（量程規(guī)格0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.7MPa ）
  調(diào)節(jié)壓力（L12V）	量程規(guī)格 -0.08~0.1MPa， -0.08~0.2MPa
  耐壓壓力	1.5MPa （入口側(cè)）
  簡歷值	0.1
  工作溫度	-10~+40°C
  外部泄漏	1×10-11Pa?m3/秒?He （真空方式）
  質(zhì)量	約 270g（1.125“ SEMI 規(guī)格）

• L12 系列是按照 1.25“ SEMI 標準設(shè)計的壓力調(diào)節(jié)器。

• 與集成供氣系統(tǒng)的 1.125 英寸和 1.5 英寸 W 和 C 密封件兼容。

• 還提供高流量和真空規(guī)格以及端面密封接頭類型。